
Zastosowanie rur nierdzewnych w przemyśle półprzewodników Rury nierdzewne, szczególnie rury bez szwu ze stali nierdzewnej o wysokiej czystości (316L, 316L EP, BA), są niezbędnym kluczowym materiałem bazowym w zakładach produkujących półprzewodniki (Fab), wykonując główne...
Zastosowanie rur ze stali nierdzewnej w przemyśle półprzewodników
Rury ze stali nierdzewnej, zwłaszcza rury ze stali nierdzewnej bez szwu o wysokiej czystości (316L, 316L EP, BA), są niezbędnym kluczowym materiałem bazowym w zakładach produkujących półprzewodniki (Fab), realizujących głównie zadania związane z transportem ultraczystych gazów, chemikaliów i ultraczystej wody.
Produkcja chipów półprzewodnikowych jest niezwykle wrażliwa na zanieczyszczenia:
1. Zanieczyszczenie cząstkami
2. Zanieczyszczenie metalami
3. Zanieczyszczenie wilgocią
4. Zanieczyszczenie materią organiczną (TOC)
Nawet zanieczyszczenia na poziomie nanometrów mogą prowadzić do uszkodzenia całej płytki.
Dlatego system transportowy musi posiadać:
1. Bardzo wysoka czystość
2. Wyjątkowo niska emisja zanieczyszczeń
3. Odporność na korozję
4. Brak tworzenia się cząstek
5. Zdolność do długotrwałej, stabilnej pracy
Rury ze stali nierdzewnej 316L elektropolerowane (EP) są obecnie głównym rozwiązaniem.
Główne scenariusze zastosowań:
1.Specjalne systemy zasilania gazem
2. Systemy wody ultraczystej
3. Systemy zasilania chemikaliami
4.Systemy próżniowe
Normy dotyczące rur nierdzewnych szeroko stosowane w przemyśle półprzewodników
| Imię | Standardowe |
| Materiał | 316L |
| Standardowe | ASTM A269 |
| Bardzo wysoki standard czystości | PÓŁF20 |
| Obróbka powierzchni | BA, EP |
| Szorstkość | Ra ≤ 0,25 µm |
| Metoda spawania | Spawanie orbitalne |
| Klasa czystości | Klasa 100 / ISO 5 |